057 EUV光刻机三大核心模块研发完

当时叶龙查看这项技术的时候，异常兴奋。
搞懂原理之后，
马研发，
很快搞定。
刚刚他试验过了，
光源模块满足要求，
比他预想的效果还要好。
紧接着，
他马又研发镜头模块。
这也是重中之重。
要求极高：
一，超高精度。【镜头均匀度，纯净度，镜片数量要多】
二，反射效率要极高。【表面涂层避光性要极高，对涂层材料要求极高，一般镀有采用Mo/Si的多层膜结构】
三，少损失能量。【距离短，反射镜片少】
目前全球范围内，
能够制造这种镜头的，只有德意志国的蔡司镜头才能满足要求。
荷国阿斯麦公司的EUV光刻机，采用的就是这种镜头。
当然，
如此先进的镜头，
有米国的阻挠，
夏国公司自然买不到。
不过，
按照叶龙的设计方案，
就是能买到蔡司公司的镜头，也根本无法满足要求。
必须自己研发。
还好抽奖已经获得了镜头模块技术。
不到两个小时，
他就弄懂这些技术，
融会贯通，设计出芯片结构，
还有制造工艺。
把王爱国叫来，
让他把设计图拿到车间，
吩咐工人赶紧加工。
“镜头？”
王爱国拿起设计图,
大致看一眼，
当场就震惊了！
他对光刻机基本构成还是非常了解的，
镜头模块是光刻机重中之重，
想不到叶总这么快就研发好了镜头，
简直不可思议！
据他所知，
蔡司公司研发一款顶级镜头，常常需要三四年，
甚至有时候是七八年。
想不到叶总这么快就做到了，
真的太厉害了！
其实，他不知道的是，
这只是叶龙很小的一部分工作量。
要是他得知光源系统也已经搞定，
恐怕会直接惊掉下巴。
“好的，叶总，我马送到车间。”
王爱国满脸激动，